|
GSL-1100X-8.5-III 1100℃三溫區(qū)8.5"管式爐
GSL-1100X-III 是一款CE認證的三溫區(qū)大尺寸系列的管式爐，其石英管管徑為 8.5" O.D,。在加熱管一端安裝有一對高真空不銹鋼法蘭，法蘭上安裝有機械壓力表和閥門，三個溫區(qū)都是采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器進行溫度控制，控溫精度 ± 1 ºC，它被廣泛的用于材料或化學(xué)實驗室材料的燒結(jié)或是退火（在真空或是惰性氣體的保護環(huán)境下），它是一款優(yōu)質(zhì)的退火，擴散，和燒結(jié)設(shè)備
技術(shù)參數(shù)
|
石英管尺寸 |
216 O.D x 206 I.D x 1300mm Length (8.5" O.D - 8.1" I.D x 51" L) , |
|
儀器中包含一根石英管, |
|
內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
|
|
殼體結(jié)構(gòu) |
雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有冷卻風(fēng)扇. 使得殼體的表面溫度 < 70℃. |
|
耐火材料采用高純氧化鋁，可以減少熱量的損失. |
|
加熱元件: NiCrAl 電阻絲 |
|
為了防止熱量以熱輻射的形式散失，儀器配有兩套氧化鋁管堵（在加熱前必須把管堵放入爐管內(nèi). |
|
為了獲得更高的潔凈度和真空度，可以選擇石英管堵（可選配件） |
|
加熱區(qū) |
總加熱區(qū)長度： 900 mm (36") |
|
三個溫區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone) |
|
恒溫區(qū)長度: 500 mm (三個溫區(qū)可設(shè)置相同的溫度) |
|
工作溫度 |
最高工作溫度 1100℃ |
|
正常工作溫度: 400~1100℃ |
|
最大加熱/冷卻速率: 20℃/min |
|
控溫系統(tǒng) |
三個PID自動控制器，可設(shè)置30段升降溫程序 |
|
熱電偶:3根K型 在每個溫區(qū) |
|
控溫精度: ± 1℃ |
|
真空密封法蘭 |
一副不銹鋼真空密封法蘭(鉸鏈式)，密封法蘭采用硅膠密封圈進行密封， 通過機械泵，真空度可以達到10^-2 torr |
|
左側(cè): 真空計, 不銹鋼針閥 和1/4" 軟管接頭. |
|
右邊: KF25 接口，方便連接KF25型波紋管和真空泵 |
|
額定電壓 |
單相, 220V AC, 50/60 Hz |
|
包括AWG 8#電源線 (without plug) |
|
功率 |
最大10KW (需50A的空氣開關(guān) ) |
|
外形尺寸 |
1200 L x 660 W x 750 H mm (48" L x 26"W x 30" H) |
|
凈重 |
200kg |
|
運輸尺寸 |
70" x 70" x 65" |
|
運輸重量 |
500Lbs (227kg) |
OTF-1200X-III-D5-4 1200℃雙管三溫區(qū)管式爐
OTF-1200X-5-III-D4 是一款三溫區(qū)的雙管爐，其最高工作溫度可以達到1200℃，專門針對于用CVD方法在金屬箔上生長薄膜物質(zhì)，如石墨烯、太陽能電池的電極材料和電池電極材料等。
產(chǎn)品特點
·石英爐管: 外管直徑為 130 mm(5")，內(nèi)管直徑為101 mm(4")，使用時把金屬箔附在內(nèi)管上
·特殊的真空法蘭可以使反應(yīng)氣體通過兩管之間冷卻氣體可以從內(nèi)管通過，對基底進行快速冷卻
·最高工作溫度: 1200℃
技術(shù)參數(shù)
|
爐體結(jié)構(gòu) |
三個加熱溫區(qū)總長: 900mm（36"） |
|
溫區(qū) 1: 229mm (9") |
|
溫區(qū)2: 457mm (18.0") |
|
溫區(qū)3: 229 mm (9") |
|
恒溫區(qū)：625mm(三個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度） |
|
恒溫精度： ± 1℃ |
|
三個溫區(qū)采用PID30段程序化獨立控制 |
|
控溫精度： ± 1° C |
|
最高工作溫度：1200℃ |
|
連續(xù)使用溫度：1100℃ |
|
推薦升溫速率: <= 20℃ /min |
|
爐膛 |
內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長爐膛的使用壽命 |
|
電源 |
AC 208-240V 單相, 50/60 Hz (需要40A 的空氣開關(guān) ). |
|
最大功率：7 KW |
|
爐管 |
爐管為高純石英管 |
|
外管尺寸:130mm O.D. x 122 mm I.D. x 1480 mm |
|
內(nèi)管尺寸: 102mm O.D. x 94 mm I.D. x 1540 mm |
|
爐體尺寸 |
1030 x 430 x 580 mm |
|
凈重 |
90 kg |
OTF-1500X-III 1500℃三溫區(qū)開啟式管式爐
OTF-1500X-III是一款三溫區(qū)開啟式管式爐，三個溫區(qū)分別用三個獨立的溫控系統(tǒng)控制，每個溫區(qū)都可以設(shè)置30段升降溫程序，并帶有斷偶和過熱保護，控溫精度高達± 1℃，儀器最高溫度可以達到1500℃。此高溫管式爐特別適合于在氣氛保護或真空的環(huán)境下對樣品進行退火和燒結(jié),另外此款管式爐還可做成1600度。
技術(shù)參數(shù)
|
最大功率 |
6.6K W |
|
工作電壓 |
AC220V 單相 50/60Hz ( 需要50 A 的空氣開關(guān)) |
|
最高工作溫度 |
1500℃ |
|
連續(xù)工作溫度 |
1400℃ |
|
建議升溫速率 |
5℃/min. |
|
爐管 |
材質(zhì)：剛玉管 |
|
尺寸： 80 O.D x 71 I.D x 1200mm L |
|
加熱區(qū)長度 |
共三個溫區(qū)，每個溫區(qū)長度為200mm |
|
|
總溫區(qū)長度：600mm |
|
|
恒溫區(qū)長度：350 ± 2ºC.(三個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度） |
|
外型尺寸 |
860 mmL × 380 mmW × 680 mmH |
|
溫控系統(tǒng) |
三個溫區(qū)分別用三個獨立的溫控系統(tǒng)來控制 |
|
采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，每個溫區(qū)可以設(shè)置30段升降溫程序 |
|
帶有過熱和斷偶保護 |
|
控溫精度：± 1 ºC |
|
為了將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中，可以選購PC控溫軟件 |
|
真空度 |
10E-2 torr（用機械泵） |
|
10-5 tor（用分子泵） |
|
加熱元件 |
12 pcs 1500ºC grade Silicon carbide rod |
|
儀器中安裝有24根硅碳棒 （直徑 14 mm. x 熱端長度150mm x 總長度350mm） |
|
3 pcs S type thermal couple built in |
|
3個S型熱電偶 |
|
凈重 |
110 Kg |
|
外形尺寸 |
860 mmL × 380 mmW × 680 mmH |
GSL-1700X-60-III 1700℃三溫區(qū)管式爐
GSL-1700X-60-III是一款CE認證的三溫區(qū)高溫管式爐，其爐管外徑為 60mm ，每個加熱區(qū)的長度為12" ，三個數(shù)字溫度控制器可獨立控制溫度，并可設(shè)置30段升降溫程序，溫區(qū)1（加熱區(qū)中心）采用Super-800級的硅鉬棒進行加熱，當(dāng)溫度達到 1700℃時，另外兩個溫區(qū)用硅碳棒進行加熱，當(dāng)溫度在1400℃時，此款管式爐可以形成一個溫度梯度，調(diào)整三個溫區(qū)的溫度，在熱梯度下制備功能材料，他是一款優(yōu)質(zhì)的設(shè)備，同時也適用于CVD法制作薄膜外延生長。
技術(shù)參數(shù)
|
殼體結(jié)構(gòu) |
采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體的表面溫度小于60度 |
|
爐膛的保溫材料采用高純氧化鋁，環(huán)保節(jié)能，可以減少熱量的損失 |
|
內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
|
|
功率 |
9 KW (需要75A空氣開關(guān) ) |
|
電壓 |
AC 220-240 單相, 50/60 Hz |
|
加熱區(qū)長度 |
三個溫區(qū):總溫區(qū)長度 25" (630 mm) heating zone (included two refractory separators) |
|
溫區(qū)1: 7.5" (190 mm)由4根U型硅碳棒SiC 進行加熱 |
|
工作溫度 800 - 1400℃ |
|
升溫速率: 20℃/min |
|
溫區(qū) 2: 10" (250 mm) 由 根6 U型硅鉬棒MoSi2 進行加熱 |
|
工作溫度 800 - 1700℃ |
|
最大升溫速率: 10℃/min |
|
溫區(qū)3: 7.5" (190 mm) 由 4 根 U 型硅碳棒SiC進行加熱 |
|
工作溫度 800 - 1400℃ |
|
最大升溫速率: 20℃/min |
|
爐管尺寸和法蘭 |
99.8%高純氧化鋁管 |
|
2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Lengt |
|
包括60mm不銹鋼真空密封法蘭，儀表和針閥 |
|
Two porous ceramic blocks are included for protecting flange from heating radiation |
|
法蘭連接口 |
為了得到較好的真空狀態(tài)出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉(zhuǎn)接頭與波紋管相連接 |
|
為了保證進氣的氣密性，進氣端法蘭上可以選定Φ6.35的不銹鋼卡套接頭，與聚四氟乙烯軟管相連接，VCR Face Seal Fitting |
|
可選;本公司生產(chǎn)的鉸鏈式法蘭和進口的防腐型數(shù)字式真空計
|
|
溫控系統(tǒng) |
三個數(shù)字溫度控制器采用PID方式控制，并且控溫儀表中可以設(shè)置30段升降溫程序，每個溫區(qū)可以獨立控溫 |
|
帶有過熱和斷偶保護功能 |
|
控溫精度 ± 1ºC |
|
熱電偶: B type (one), S type (two) |
|
外形尺寸 |
863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
|
凈重 |
150 kg |
GSL-1700X-60-III-F3LV 帶3路浮子混氣三溫區(qū)1700℃管式爐
GSL-1700X-60-III-F3LV是一款通過CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達1700℃，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
技術(shù)參數(shù)
|
爐體結(jié)構(gòu) |
采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃ |
|
爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，減少能量損失 |
|
內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長爐膛的使用壽命 |
|
三個溫區(qū)分別被三個獨立的溫控系統(tǒng)控制 |
|
功率 |
9 KW(需要75A的空氣開關(guān) ) |
|
電壓 |
AC 208-240V 單相, 50/60 Hz |
|
加熱區(qū) |
總加熱區(qū)長度:25" (630 mm) |
|
加熱溫區(qū)1長度:7.5" (190 mm) 1400℃ 通過4根硅碳棒加熱，最高溫度可達1400℃ |
|
升溫速率: 10℃/min |
|
加熱溫區(qū)2長度:10" (250 mm)1700℃ 通6根硅鉬棒加熱，最高溫度可達1700℃ |
|
最快升溫速率:5℃/min |
|
加熱溫區(qū)3長度:7.5" (190 mm) 1400℃ 通過4根硅碳棒加熱，最高溫度可達1400℃ |
|
最大升溫速率:10℃/min |
|
爐管和法蘭尺寸 |
99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube |
|
尺寸：2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Length |
|
一對60mm的不銹鋼密封法蘭，法蘭上已安裝閥門和儀表 |
|
儀器中包括4個氧化鋁管堵 |
|
溫控系統(tǒng) |
3個溫控系統(tǒng)，都是PID30段程序化控溫 |
|
控溫準確度 |
±1℃ |
|
低真空系統(tǒng) |
采用TRP-12的雙旋機械泵，其針對于本公司的管式爐，真空度可達到 10-2 Torr. |
|
一個KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上，其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式爐上的法蘭相連接 |
|
數(shù)字式真空顯示計 |
CE認證的皮拉尼式數(shù)顯真空計，帶有LED數(shù)字式顯示，其量程為10-4 to 1000 Torr. |
|
三路浮子混氣系統(tǒng) |
3個浮子流量計（準確度4%FS）安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。 |
|
路氣體流量范圍為10-100 cc/min. |
|
第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. |
|
第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. |
|
一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接 |
|
移動架上安裝有4個不銹鋼針閥 |
|
尺寸 |
高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
GSL-1100X-8.5-SR-III 1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5"管式爐
GSL-1100X-8.5-SR-III是一款CE認證的三溫區(qū)滑軌爐，其爐管外徑為 8.5" O.D的滑軌真空管式爐，multi-gas fedthrough SS tube for LPCVD processing，它可以在最大6“的基片上生長多種薄膜（在不同氣氛下）. 它最高溫度 1100℃，采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度±1℃。
技術(shù)參數(shù)
|
殼體結(jié)構(gòu) |
雙層殼體，循環(huán)風(fēng)冷. |
|
爐體表面溫度< 70 ºC |
|
采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，環(huán)保節(jié)能 |
|
滑軌式法蘭結(jié)構(gòu)，方便放取樣品 |
|
三個加熱區(qū)實現(xiàn)更長的溫度區(qū)和一個特定的溫度梯度 |
|
內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 |
|
輸入電壓 |
220VAC 單相 |
|
功率 |
8kW |
|
石英管尺寸 |
8.5" O.D x 8.2" I.Dx 51" Length |
|
儀器中包含一根石英管，以下尺寸可以作為選用，（點擊查看詳細資料） |
|
加熱元件 |
NiCrAl 電阻絲 |
|
工作溫度 |
最高工作溫度: 1100℃ |
|
連續(xù)工作溫度: 400 -1000℃ |
|
最大加熱冷卻速率: 10℃/min |
|
加熱區(qū) |
總加熱區(qū)長度：900 mm (36") |
|
三個溫區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone) |
|
恒溫區(qū): 500 mm (三個溫區(qū)可以設(shè)置同樣的溫度） |
|
溫度控制器 |
三個溫度控制器，采用 PID 方式，通過可控硅來進行溫度控制，可以設(shè)置30段升降溫程序 |
|
設(shè)有一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng) |
|
雙K型熱電偶 安裝在儀器里 |
|
控溫精度: ±1℃ |
|
軟件接口模塊和PC機不在標(biāo)配內(nèi)需額外訂購 |
|
密封法蘭和進氣接口 |
不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達到 (機械泵：10-2 torr、分子泵：10-4 torr). 真空泵不包含在內(nèi) |
|
右端法蘭上設(shè)有一個鎧裝熱偶檢測口和KF25真空接口. 標(biāo)配內(nèi)包括KF25真空擋板閥和1.2 米 KF-40 不銹鋼波紋管. ( 如需對爐膛溫度進行校準請訂購36" 長 x 1/4"dia K 型熱電偶) |
|
包括一個石英管堵,設(shè)備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射 |
|
左側(cè)法蘭安裝在可移動的滑軌機構(gòu)上. 法蘭上設(shè)有五路進氣接口每個進氣口采用精密不銹鋼針閥密封. |
|
左端密封法蘭上裝有4片磨砂石英擋片用于阻止熱輻射. P建議采用水冷機組，為了美好的未來，請節(jié)約每一滴用水
|
|
產(chǎn)品尺寸 |
爐體: 1000L x 700 W x 1060 H mm |
|
滑軌長度: 600mm L |
|
注意: 你必須把爐體和滑動機構(gòu)放置在同一基準面上。 |
|
凈重 |
354Kg |
|
包裝尺寸 |
70" x 70" x 65" |
|
運輸重量 |
354Kg |
|