產(chǎn)品特性

· 兩元?dú)怏w混和裝置，利用多臺(tái)高精度(MFC)氣體質(zhì)量流量控制器精密控制氣體混合比例，可以混出不同要求的氣體比

·氣體混和精度不受起源壓力變化的影響

·全耐腐蝕設(shè)計(jì)，適應(yīng)氣體混合（常溫?zé)o凝結(jié)）

·調(diào)節(jié)精度優(yōu)于+-1%，混和精度優(yōu)于1%或2%（流量大小確定）

技術(shù)參數(shù)

氣體傳輸：1- 8種氣體氣體質(zhì)量流量控制器控制流量 ， Swagelok卡套連接

氣體類(lèi)型： 空氣、N2， O2 ，CO2,SO2等

進(jìn)氣壓力：2 --8bar

出口氣體：1--8種氣體質(zhì)量流量控制器控制

控制閥動(dòng)作型式：氣體質(zhì)量流量控制器是常閉式

響應(yīng)時(shí)間(sec)：1S

工作壓差：0.05～0.5MPA

最大耐壓：3MPA

出口壓力：0 --6bar

控制原理：氣體質(zhì)量流量控制器質(zhì)量流量控制，每個(gè)出口單獨(dú)控制，含溫度及濕度休整補(bǔ)償（由于密度和溫度的關(guān)系很大，為 減少誤差補(bǔ)償）

氣體質(zhì)量流量控制器流速：0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM；0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30，200SLM

采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量量測(cè)及控制（氣體質(zhì)量流量控制器）。

氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用在5SCCM到200SLM的氣體流量范圍，并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響其他流速可選擇 ，其他氣體可選擇

準(zhǔn)確性： 優(yōu)于1%或2%（此參數(shù)是由混合氣體的流量后所確定）

數(shù)據(jù)：輸出的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的質(zhì)量（ 1個(gè)大氣壓，0度）

氣體質(zhì)量流量控制器標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：

標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）

標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa控制顯示方式：本地顯示控制

氣體混氣儀器應(yīng)滿足以下工作環(huán)境要求:

氣體質(zhì)量流量控制器工作電源: AC 185~265V,50Hz.

氣體質(zhì)量流量控制器工作溫度:0～45℃

氣體質(zhì)量流量控制器相對(duì)濕度:≤90%

進(jìn)出口連接：可以用1/4'或6mm的316l（聚四氟）與氣源進(jìn)行快速連接，并與采樣灌進(jìn)行快速連接