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本儀器是用來測(cè)量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測(cè)量零件表面刻線，鍍層等深度。
儀器配以各種附件，還能測(cè)量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面，同時(shí)還能將儀器安置在工件上，對(duì)大型工件表面進(jìn)行測(cè)量。儀器測(cè)量表面不平深度范圍為1～0.03微米，用測(cè)微目鏡和照相方法來評(píng)定▽10～▽14光潔度的表面。
本儀器適用于廠礦企業(yè)計(jì)量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學(xué)研究等單位。
技術(shù)參數(shù)
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測(cè)量表面光潔度范圍 |
0.03～1μm（▽10～▽14） |
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工作物鏡的數(shù)值孔徑 |
0.65 |
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工作距離 |
0.5mm |
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儀器的視場(chǎng) |
目視 |
Φ0.25mm |
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照相 |
0.21×0.15mm |
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儀器的放大倍數(shù) |
目視 |
500× |
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照相 |
168× |
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測(cè)微目鏡放大倍數(shù) |
12.5× |
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測(cè)微鼓分劃值 |
0.01mm |
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綠色干涉綠色片波長(zhǎng) |
λ≈5300Å |
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半寬度 |
▽?duì)恕?SPAN lang=EN-US>100Å |
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工作臺(tái)升程 |
5mm |
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X、Y方向移動(dòng)范圍 |
≈10mm |
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旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)范圍 |
360° |
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儀器標(biāo)準(zhǔn)鏡高反射率 |
≈60% |
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低反射率 |
≈4% |
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可調(diào)變壓器輸入電壓 |
220V |
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輸出電壓 |
4V～6V |
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儀器外形尺寸 |
270×160×230mm |
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儀器重量 |
≈5kg |
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